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光刻机九洲工业有限公司有一台,还是世界先进的大型高精度光刻机,用来生产制造IGBT芯片小菜一碟。
第一批圆晶也采购到位了。
圆晶,是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至在研发更大规格的。
九洲工业有限公司采购的是8英寸圆晶,进口的。没办法,这个时候的国内的圆晶质量还无法和进口相比,应该要再经过十几年的发展吧,国内的圆晶厂才能做出具有国际一流水平的圆晶。
光刻机单独一栋恒温无尘大厂房,这是九洲工业有限公司的宝贝,自然重点照顾。
马上要进行芯片的生产,唐飞到了生产现场。此外,还有不少的技术专家和技术人员。
如赵可,如孙旭和唐中华两位专家,好几名技术人员,在这里的工人也是经过精心挑选的,要求很高,一般的工人不能进入这栋厂房内,更不要说亲自操作这台光刻机。
在技术人员的指导下,“全副武装”的几名工人在进行圆晶切片的仔细清洗,这是第一步。
然后还要经过涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序。
圆晶切片就像一面薄薄的,非常光滑的镜子。光刻,就是将设计好的芯片电路结构光刻到圆晶切片上。
光刻好的圆晶切片,每一片能生产出数千计,甚至上万片的芯片,就像印刷一样,光刻好的圆晶切片就是印刷的模板,光刻就相当于排版。
工人们一丝不苟,非常谨慎的严格按照工艺要求操作着,清洗圆晶片,在圆晶片上涂光刻胶,对准曝光,烘干,显影等等……
当第一片光刻完的圆晶片被做出来之后,唐飞心中微微激动,心中想到,这应该是国内第一块吧。
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